光刻机技术：揭秘芯片制造的核心引擎
光刻机作为半导体产业的核心设备，直接决定芯片的制程精度与性能。本专题聚焦光刻机技术原理、应用场景及行业动态，涵盖EUV光刻、纳米级工艺等前沿内容，提供从基础认知到深度分析的全面指南。助力从业者了解设备演进、市场格局与创新方向，探索光刻技术如何推动AI、5G等领域的芯片突破，为技术与产业决策提供参考。
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三星美国厂3月测试EUV光刻机，加速部署2nm GAA工艺路线
1 月 19 日消息，据《韩国经济新闻》今天报道，三星电子将从今年 3 月起在其美国泰勒一号工厂测试 EUV 光刻机，随后陆续引进刻蚀、沉积等设备，计划今年下半年投产。据业界消息，三星电子已经向德
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三星计划3月测试EUV光刻机，加速2nm GAA工艺部署
IT之家 1 月 19 日消息，据《韩国经济新闻》今天报道，三星电子将从今年 3 月起在其美国泰勒一号工厂测试 EUV 光刻机，随后陆续引进刻蚀、沉积等设备，计划今年下半年投产。据业界消息，三星电子
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深夜急升！光刻机龙头迎重大利好，行业迎来拐点
光刻机龙头创历史新高。受一系列利好消息刺激，全球光刻机龙头阿斯麦（ASML）股价持续拉升，创出历史新高，截至周五收盘，其股价本周累计涨幅超6%，总市值突破5200亿美元大关。摩根士丹利在最新发布的报
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台积电业绩引爆半导体，ASML市值破5000亿美元
1月15日，荷兰光刻机巨头ASML（ASML AS）股价飙升至历史新高，市值突破5000亿美元大关，进一步巩固了其作为欧洲市值最高公司的地位。当日，ASML欧股涨超5%，盘中一度触及1167欧元的历
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浙江征求晶圆制造突破规划：3-7nm工艺与先进光刻机发展意见
1月12日消息，近日，浙江省经济和信息化厅发布关于公开征求《浙江省“十五五”新型工业化规划（征求意见稿）》意见的通知。意见稿提到，新时代新征程，以中国式现代化全面推进强国建设、民族复兴伟业，实现新型
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英特尔与ASML完成首台二代High NA EUV光刻机验收测试
IT之家 12 月 16 日消息，英特尔代工最新当地时间昨日宣布，其已同 ASML 实现了首台“二代”High NA EUV 光刻机 TWINSCAN EXE:5200B 的“验收测试”。相较主要用
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1.1亿元光刻机中标解析：分辨率低于110nm的关键因素
12月25日消息，国产光刻机的发展牵动着很多人的心，每一个进展都很容易成为焦点，今天采购 上赫然出现了上海微电子中标光刻机的消息。在中国政府采购网上，编号zycgr22011903的采购公告中提到科
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上海微电子以1.1亿中标光刻机项目详解
12 月 25 日消息，据中国政府采购网今日公示，上海微电子装备（集团）股份有限公司（简称“上海微电子”）中标 zycgr22011903 采购步进扫描式光刻机项目，设备数量为一台，成交金额 1
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上海微电子中标1.1亿元国产光刻机项目：步进式扫描设备
据中国政府采购网12月25日披露的公告显示，国产光刻机厂商上海微电子装备（集团）股份有限公司（以下简称“上海微电子”）中标了一台步进式扫描光刻机，成交金额约为1 1亿元。在目前的光刻机市场，ASML
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EUV光刻机：生物医学领域的四大创新应用
12月22日消息，长期以来，EUV光刻技术一直被主要用于打造最强大的逻辑与存储芯片。不过比利时微电子研究中心（IMEC）近日首次成功利用ASML的EUV光刻设备，在300毫米晶圆上实现了固态纳米孔的
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日本研发出全新纳米压印技术，工艺直逼1.4nm可替代EUV光刻机
12月18日消息，虽然在EUV光刻机上已经出局，但日本依然是全球第二大光刻机供应商，这几年日本公司也在憋足劲开发可替代EUV的光刻方案，他们选择了NIL纳米压印技术路线。此前日本佳能、尼康等公司有过
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Intel率先安装二代高NA光刻机：为14A工艺铺路
12月18日消息，近日，Intel宣布已安装ASML最新的TWINSCAN EXE:5200B光刻系统，这是全球首套、也是目前最先进的第二代High-NA EUV光刻系统，将用于Intel 14A节
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阿斯麦出口光刻机落后：对华技术差距超10年
12月15日消息，阿斯麦对中国出口的光刻机到底有多落后，按照其CEO的说法，比最新的高数值孔径光刻技术整整落后了八代。近日，阿斯麦首席执行官克里斯托夫富凯接受采访时表示，目前阿斯麦对华出口的设备，比
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对华禁售扩大：ASML面临DUV光刻机禁令
12月10日消息，ASML不但不能将先进的EUV光刻机出口给中国，就连相对落后的DUV光刻机，现在也受到百般阻挠。据荷兰国家广播公司(NOS)报道，尽管ASML声称卖给中国芯片制造商的产品都是“旧技
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打破日韩垄断，SK海力士国产EUV光刻胶如何破局？
12月7日消息，前不久日本断供光刻胶的消息引发关注，虽然日本方面否认了传闻，但在光刻胶领域，日本公司确实卡了大部分半导体公司的脖子。尤其是在先进的EUV光刻胶领域，目前主要掌握在日本JSR、信越化学
