上海微电子中标1.1亿元国产光刻机项目：步进式扫描设备
据中国政府采购网12月25日发布的公告显示，国产光刻机制造商上海微电子装备（集团）股份有限公司（以下简称“上海微电子”）成功中标一台步进式扫描光刻机，成交金额约1.1亿元。
免费影视、动漫、音乐、游戏、小说资源长期稳定更新！ 👉 点此立即查看 👈
目前在全球光刻机市场，ASML、佳能以及尼康是最大的三家供应商，合计占据了超过99%的市场份额。
其中，ASML在中高端光刻机市场中更是一家独大，其份额超过90%，并且是全球唯一一家拥有可用于7nm以下工艺制程的EUV光刻机的供应商。
近些年来，随着先进制程的持续迭代，ASML凭借其独家销售、单价超过1.5亿美元的EUV光刻机，使其在光刻机市场的销售份额持续提升。
相比之下，上海微电子由于起步较晚，加之国外的技术封锁，使其在技术上与国外厂商仍存在较大差距。
早在2002年，光刻机就被列入国家863重大科技攻关计划，上海微电子装备有限公司也由此成立。
公司主要致力于半导体设备、泛半导体设备以及高端智能装备的设计、制造与销售。其中，光刻设备是公司的主营业务，广泛应用于集成电路产业链中的晶圆制造、封装测试，以及平板显示、高亮度LED等领域。
截至2020年3月，上海微电子直接持有各类专利及专利申请超过3200项，同时通过建设并参与产业知识产权联盟，进一步整合共享了大量联盟成员的知识产权资源，涉及光刻机、激光与检测、特殊应用类等各大产品技术领域，全面覆盖了上海微电子产品的主要销售区域。
公司正式产品资料显示，上海微电子的光刻设备主要包括SSX600系列步进光刻机、SSB500系列步进光刻机、SSB300系列步进光刻机、SSB200小Mask系列曝光机、SSB200大Mask系列曝光机。
其中，SSX600系列步进扫描投影光刻机采用四倍缩小倍率的投影物镜、工艺自适应调焦调平技术，以及高速高精的自减振六自由度工件台掩模台技术，可满足IC前道制造中90nm、110nm、280nm关键层和非关键层的光刻工艺需求，可用于8英寸产线或12英寸产线。
SSB500系列步进投影光刻机主要应用于集成电路先进封装领域，包括Flip Chip、Fan-In、Fan-Out WLP/PLP和2.5D/3D等先进封装形式，可满足Bumping、RDL和TSV等制程的晶圆级/方板级光刻工艺需求。
SSB300系列步进投影光刻机主要应用于2~6英寸基底的先进光刻领域，可满足Micro/Mini LED、新型化合物半导体器件和MEMS等芯片制程的光刻工艺需求。
此次中标公告中公布的上海微电子的产品型号为SSC800/10，虽然官方尚未正式公布这款产品的详细资料，但第三方资料显示，这款光刻机单次曝光可实现28纳米制程，通过多图案曝光技术可提升至11纳米分辨率。
文章出处：芯智讯
相关攻略
3月24日，存储芯片大厂SK海力士（SK hynix）宣布，将在2027年12月31日前向荷兰ASML采购价值11 95万亿韩元（约79 7亿美元）的极紫外光（EUV）光刻机，旨在应对日益增长的内存
上海规模最大的半导体行业展会——SEMICON China 2026正在进行中。3月26日，展会进入第二天，场内的观众依然众多，除了中国人外，会场内不时听到日韩等外国人在交流。今年最有人气当属N3的
最近芯片圈彻底炸了锅，荷兰突然官宣了光刻机出口的新规定，没有任何预兆，一时间整个行业都乱了套。最直观的影响就是，全球有450亿颗芯片订单直接停滞，没法生产、没法交付，不管是国内的工厂，还是国外的合作
墙内的孤勇。文 | 华商韬略 张静波2026年开春，一则重磅消息在日本产业界，炸响了惊雷。作为日本骄傲的百年光学巨头尼康，2025财年预亏850亿日元，创下公司历史上最大亏损纪录。这个数字，再次击碎
3月16日消息，年赚327亿欧元仍裁员多达1700余人，ASML的重组计划遇强烈抵制。据报道，在ASML宣布裁减1700名管理职位的七周后，员工仍然对自己的工作状况感到不安。该裁员计划是在公司创下3
热门专题
热门推荐
三月的丽江，春风载着光影的诗意，vivo于此启幕春季新品发布会，年度影像旗舰vivo X300 Ultra将如约登场。我们有幸提前执掌这款被赋予“专业V单”称号的新机，今日便与你一同，沉浸式解锁这台
悟空浏览器支持五种调出搜索悬浮窗的方式：一、地址栏长按；二、左边缘手势滑动；三、启用chrome: flags中的“Enable search bubble UI”；四、侧边栏添
快科技3月30日消息，日前，宝马产品负责人贝恩德·克尔伯在接受BMW Blog采访时明确表示，公司对增程车型持观望态度，虽技术上完全可行，但现实需求尚未明确，暂未做出量产决策。这一表态与宝马研发负责
大象新闻·大象财富记者 李莉 张迪驰3月29日，以“发挥主流媒体引领力 激发多元主体创造力——共创繁荣网络内容生态”为主题的2026中国网络媒体论坛在河南郑州开幕。腾讯携AI全景亮相，展示“从效率伙
3月29日，广汽丰田首款大型纯电轿车铂智7正式上市。新车推出600km和700km两种续航版本共5款配置，限时补贴权益后售价区间为14 78万元至19 98万元。作为广汽丰田继铂智3X之后的第二款纯