1.1亿元光刻机中标解析:分辨率低于110nm的关键因素
12月25日消息,国产光刻机的每一步进展都备受瞩目,任何新动态都能迅速成为业界焦点。今天,一则关于上海微电子中标光刻机的采购信息,再次引发了广泛关注。
免费影视、动漫、音乐、游戏、小说资源长期稳定更新! 👉 点此立即查看 👈
在中国政府采购网上,一份编号为zycgr22011903的采购公告显示,科技部以单一来源方式采购了一台步进扫描式光刻机,中标金额约为1.099亿元,中标方为上海微电子公司,货物型号为SSC800/10。

截至发稿时,这份中标公告虽然仍在网站上,但其详情页面已经无法打开了。
上海微电子的SSC800型号此前并未公开披露过。有印象的网友或许还记得,前两年网络上曾流传过SSA800的型号,据称是一台28nm光刻机。SSC800的型号命名与这个系列一脉相承,很可能是采用同期技术的产品。
不过,严格来说,“28nm光刻机”的说法并不准确,至少是不严谨的。光刻机一次曝光的分辨率并没有那么高。SSC800的分辨率为110nm,套刻精度则为15nm。

2024年9月,工信部曾公布《首台(套)重大技术装备推广应用指导目录(2024年版)》。其中提到的氟化氩光刻机有两种,光源均为193纳米。其中,浸没式型号的分辨率≤65nm,套刻精度≤8nm;而干法型号的分辨率≤110nm,套刻精度≤25nm。
此次上海微电子中标的型号,应该属于干法光刻机,并非大家预期中那种技术指标非常顶尖的产品。


相关攻略
3月24日,存储芯片大厂SK海力士(SK hynix)宣布,将在2027年12月31日前向荷兰ASML采购价值11 95万亿韩元(约79 7亿美元)的极紫外光(EUV)光刻机,旨在应对日益增长的内存
上海规模最大的半导体行业展会——SEMICON China 2026正在进行中。3月26日,展会进入第二天,场内的观众依然众多,除了中国人外,会场内不时听到日韩等外国人在交流。今年最有人气当属N3的
最近芯片圈彻底炸了锅,荷兰突然官宣了光刻机出口的新规定,没有任何预兆,一时间整个行业都乱了套。最直观的影响就是,全球有450亿颗芯片订单直接停滞,没法生产、没法交付,不管是国内的工厂,还是国外的合作
墙内的孤勇。文 | 华商韬略 张静波2026年开春,一则重磅消息在日本产业界,炸响了惊雷。作为日本骄傲的百年光学巨头尼康,2025财年预亏850亿日元,创下公司历史上最大亏损纪录。这个数字,再次击碎
3月16日消息,年赚327亿欧元仍裁员多达1700余人,ASML的重组计划遇强烈抵制。据报道,在ASML宣布裁减1700名管理职位的七周后,员工仍然对自己的工作状况感到不安。该裁员计划是在公司创下3
热门专题
热门推荐
本讲义讲解如何在Windows 2000操作系统中设置并启用远程桌面连接功能。1、在Windows 2000系统环境下,需先放入正式版Windows XP或Windows Serv
在番茄免费小说上阅读时,有时我们可能会因为各种原因想要删除已下载的书籍。下面就为大家详细介绍一下番茄免费小说书籍删除的操作方法。首先,打开番茄免费小说应用程序。进入主界面后,点击右
在网上热门游戏中,“羊蹄山之魂无双武藏”的打法颇具挑战性。以下为你带来详细攻略。首先,了解无双武藏的技能特点至关重要。他拥有多种攻击方式,包括近战的快速连击和范围较大的强力横扫。要
PChome消息,近期,消费电子市场正经历一场由AI算力抢占产能、存储成本持续攀升所引发的大范围“涨价潮”,内存价格的上涨已迅速传导至包括手机、笔记本电脑、平板电脑在内的各类终端产品,导致市场售价普
3月29日消息,据媒体报道,TCL空调广州智能制造基地近日在广州南沙正式投产。在AI智造能力、零碳运营理念与全场景智慧生态的共同驱动下,该基地2026年预计实现产值30亿元,“十五五”期间目标突破1





