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EUV光刻机:生物医学领域的四大创新应用

EUV光刻机:生物医学领域的四大创新应用

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2025-12-22

12月22日传来消息,长久以来,EUV光刻技术一直被认为是制造顶级逻辑与存储芯片的专有工艺。

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然而近期,比利时微电子研究中心(IMEC)首次成功利用ASML的EUV光刻设备,在300毫米晶圆上实现了固态纳米孔的晶圆级制造。

EUV光刻机意想不到的用途!竟能应用于生物医学

这项突破被ASML的公关负责人誉为“一次意想不到且出色的生物医学应用”。

所谓纳米孔,是指直径仅为几纳米的微小孔道,其精细程度大约是人类头发丝的万分之一。在生物传感领域,纳米孔的作用就像一个“分子检测站”。

EUV光刻机意想不到的用途!竟能应用于生物医学

当离子电流流过这些孔洞时,其中通过的分子(如病毒、蛋白质或DNA)会对电流产生独特的信号。科学家们可以根据这些独特的电信号,高灵敏度地分辨出分子的尺寸、结构和电荷。

尽管纳米孔在基因组学和蛋白质组学中潜力巨大,但以往受限于制造变异大和集成困难,始终无法实现大规模生产。

IMEC的突破在于利用EUV技术确保了孔径的高度一致性,目前孔径已精确缩小至约10纳米,未来更有可能通过工艺改进突破5纳米。

EUV光刻机意想不到的用途!竟能应用于生物医学

更重要的是,这种方法与CMOS工艺兼容,这意味着生物传感器可以像生产芯片一样,在300毫米晶圆上实现大规模制造。

IMEC研发项目经理Ashesh Ray Chaudhuri表示,将原本用于芯片制造的EUV基础设施应用于生命科学,已经为高通量生物传感器阵列的诞生打开了大门。

来源:https://m.mydrivers.com/newsview/1093870.html
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