国产设备攻克3nm工艺，无需EUV精度提至0.8nm
3月5日消息，在无法获得EUV光刻机的情况下，国内半导体行业不得不依靠DUV设备挑战更先进的制程节点。这无疑是一个巨大的技术挑战——台积电、英特尔等国际巨头在7纳米节点才全面引入EUV光刻，而国内则要向3纳米及以下工艺发起冲击。
免费影视、动漫、音乐、游戏、小说资源长期稳定更新！ 👉 点此立即查看 👈
使用DUV设备制造3纳米工艺面临的核心瓶颈之一是精度控制。南京激埃特光电日前发文透露，国内某机构在对DUV光学系统进行升级时就遇到了这个难题：照明系统的均匀性不足，导致晶圆曝光线宽的一致性偏差超过±2纳米，无法满足3纳米节点的工艺要求。
该公司介绍了他们的解决方案。其光学镀膜团队设计了一套多层介质硬膜方案：
膜层结构：采用SiO₂和Ta₂O₅交替沉积，总层数达到40-60层；
工艺参数：运用离子辅助沉积（IAD）技术，基底温度250℃，本底压强低至2×10⁻⁵Pa；
关键指标：中心波长193±0.2纳米，峰值透光率＞92%，截止深度OD6（带外透射率＜10⁻⁶）。
最终效果如何？他们公布的数据如下：
曝光质量提升：晶圆片内线宽均匀性从±2.1纳米改善至±0.8纳米，良率预估提升5-8%；
对准精度提高：对准系统定位精度从±1.5纳米提升至±0.8纳米；
系统稳定性增强：连续工作100小时后，光路漂移量减少70%。
这一方案也得到了客户团队的认可。他们表示，激埃特的技术方案不仅解决了照明均匀性问题，其滤光片的带外抑制能力更是将系统整体信噪比提升了3倍。特别是在微透镜阵列的面形精度控制上，达到了此前未能实现的λ/10水平，为后续工艺迭代预留了充足的技术余量。
我们该如何看待这一技术突破？激埃特光电的光学镀膜技术将DUV光学系统的线宽均匀性从2.1纳米提升至0.8纳米，同时对准系统精度也从1.5纳米提升到了0.8纳米。这对于利用DUV量产先进制程芯片而言至关重要——精度不够，生产出来的芯片就是废品。尤其是用DUV设备制造5纳米到3纳米芯片，本身就极具挑战。
不过需要说明的是，这里提到的精度并非光刻机的套刻精度（Overlay）。如果套刻精度能达到0.8纳米，那将超越EUV光刻机的水平。但当前的进展依然值得庆贺，它意味着国内厂商在用DUV攻克3纳米工艺芯片的道路上，已经取得了一定程度的突破。即便尚未量产，打通技术流程也已是重大进展。
这项技术放在全球范围来看也是独一无二的。因为台积电、三星及英特尔在5纳米甚至7纳米节点就已全面启用EUV光刻，他们没有这方面的研发经验积累。
相关攻略
3月24日，存储芯片大厂SK海力士（SK hynix）宣布，将在2027年12月31日前向荷兰ASML采购价值11 95万亿韩元（约79 7亿美元）的极紫外光（EUV）光刻机，旨在应对日益增长的内存
上海规模最大的半导体行业展会——SEMICON China 2026正在进行中。3月26日，展会进入第二天，场内的观众依然众多，除了中国人外，会场内不时听到日韩等外国人在交流。今年最有人气当属N3的
最近芯片圈彻底炸了锅，荷兰突然官宣了光刻机出口的新规定，没有任何预兆，一时间整个行业都乱了套。最直观的影响就是，全球有450亿颗芯片订单直接停滞，没法生产、没法交付，不管是国内的工厂，还是国外的合作
墙内的孤勇。文 | 华商韬略 张静波2026年开春，一则重磅消息在日本产业界，炸响了惊雷。作为日本骄傲的百年光学巨头尼康，2025财年预亏850亿日元，创下公司历史上最大亏损纪录。这个数字，再次击碎
3月16日消息，年赚327亿欧元仍裁员多达1700余人，ASML的重组计划遇强烈抵制。据报道，在ASML宣布裁减1700名管理职位的七周后，员工仍然对自己的工作状况感到不安。该裁员计划是在公司创下3
热门专题
热门推荐
如何利用WinterBoard为iOS7状态栏及iPhone整体界面进行个性化美化？1、 打开Cydia应用，在顶部搜索框中输入“WinterBoard”，找到对应插件后点击安装并
在使用抖音时，有时会遇到视频封面无法更换的情况，这确实会让人有些困扰。不过别着急，以下为您提供一些可能的解决办法。首先，检查网络连接是否正常。不稳定的网络可能导致操作无法及时响应，
3月29日消息，今日上午，第二代腾势D9开启预售，共推出纯电、插混两种动力六款车型，预售价区间为38 98万-48 98万元。新车将于4月正式到店，预售期内下订可享受18个月免费闪充权益。新车纯电版
DNF次元对决模式已经上线，这是一个DNF的吃鸡游戏，游戏中玩家可以获得全新的装备，比如终极圣光奥术神袍，那么DNF次元对决终极圣光奥术神袍好用吗？下面就给大家带来DNF次元对决终
谁说暗恋只能是无声的独角戏呢？若暗恋被加上了双向的箭头，那不就成了两个人的兵荒马乱了吗？青春岁月里，一场无疾而终的怦然心动，成为了许淮颂与阮喻深埋心底的秘密。遗憾错过的他们，一个将暗恋写进小说里，一