欧洲EUV光刻机新突破：氧气注入提升芯片产能
自EUV光刻机实现商业化量产已有八年时间，但产能依然存在显著的优化空间。就在前几天，ASML刚刚公布了一项将光源功率提升至1000W的新技术，如今欧洲研究团队又找到了一种全新的优化方案。
免费影视、动漫、音乐、游戏、小说资源长期稳定更新！ 👉 点此立即查看 👈
这项突破源自IMEC欧洲微电子中心——全球EUV技术研发的核心机构之一。与ASML提升光源功率的技术路径不同，他们这次聚焦于EUV光刻后烘焙环节的效率提升。
研究数据显示，在PEB（曝光后烘焙）阶段提高氧气浓度，能够有效加速光刻胶的感光速度，从而显著提升产能效率。
具体而言，当PEB环节的氧气浓度从标准大气的21%提升至50%时，MOR型光刻胶的感光速度可提升15-20%。
千万别小看这组效率提升数据。光刻胶感光速度的提升不仅意味着材料用量减少，还代表着单位时间内产能的增加，这对提高EUV光刻机产量、降低芯片制造成本都具有重要意义。
与主要采用CAR化学增幅型光刻胶的DUV光刻技术不同，EUV光刻技术正全面转向MOR金属氧化物光刻胶。这种新型材料已成为提升光刻分辨率、缩小栅极间距、降低缺陷率的关键材料之一。
相关攻略
3月24日，存储芯片大厂SK海力士（SK hynix）宣布，将在2027年12月31日前向荷兰ASML采购价值11 95万亿韩元（约79 7亿美元）的极紫外光（EUV）光刻机，旨在应对日益增长的内存
上海规模最大的半导体行业展会——SEMICON China 2026正在进行中。3月26日，展会进入第二天，场内的观众依然众多，除了中国人外，会场内不时听到日韩等外国人在交流。今年最有人气当属N3的
最近芯片圈彻底炸了锅，荷兰突然官宣了光刻机出口的新规定，没有任何预兆，一时间整个行业都乱了套。最直观的影响就是，全球有450亿颗芯片订单直接停滞，没法生产、没法交付，不管是国内的工厂，还是国外的合作
墙内的孤勇。文 | 华商韬略 张静波2026年开春，一则重磅消息在日本产业界，炸响了惊雷。作为日本骄傲的百年光学巨头尼康，2025财年预亏850亿日元，创下公司历史上最大亏损纪录。这个数字，再次击碎
3月16日消息，年赚327亿欧元仍裁员多达1700余人，ASML的重组计划遇强烈抵制。据报道，在ASML宣布裁减1700名管理职位的七周后，员工仍然对自己的工作状况感到不安。该裁员计划是在公司创下3
热门专题
热门推荐
3月29日消息，据行业爆料，苹果计划在面向中国市场销售的iPhone机型中，搭载长江存储的NAND闪存芯片，以此破解当前存储芯片涨价带来的盈利困境。自去年下半年起，全球内存与存储芯片进入涨价周期，手
3月29日消息，据行业爆料，苹果计划在面向中国市场销售的iPhone机型中，搭载长江存储的NAND闪存芯片，以此破解当前存储芯片涨价带来的盈利困境。自去年下半年起，全球内存与存储芯片进入涨价周期，手
近年来，手机短视频迅速走红，已深度渗透进大众的日常生活中，成为人们表达自我、记录生活的重要方式。在欣赏他人精良制作的短视频之余，越来越多用户也开始尝试用手机拍摄并剪辑属于自己的原创
在使用 360 极速浏览器时，有时会遇到无法下载文件的情况，这确实会给我们带来一些困扰。别着急，下面就为您介绍几种常见的解决方法。检查网络连接首先，确保您的设备已成功连接到稳定的网
3月29日消息，日前，一位小米YU7车主发视频称，感谢小米汽车救了自己一命。车主表示，当时自己在高速上打开了辅助驾驶，车速设置在130km h。期间，他驾车分心了没看路，前方出现了三角警示牌也没有注