尼康掀桌，低价光刻机要来了

5月31日消息。在荷兰ASML几乎把光刻机市场锁死的今天，日本老牌巨头尼康，终于准备动手了。

尼康新任总裁兼CEO大村泰弘，最近接受了《日经亚洲》的专访。他直接摊牌：要通过大幅降低ArF沉浸式光刻机的售价，正面硬刚ASML的垄断地位。底气哪来的？核心零部件自己造，成本天然占优。目前，尼康已经在美国和亚洲多家大型芯片厂商那里展开谈判，部分合作甚至已经走到签署采购订单的边缘。

ASML当下在全球光刻设备市场拿走了80%以上的份额，尤其是极紫外光刻机领域，完全是它说了算。但在成熟的深紫外市场，形势其实没那么一边倒。

ArF光刻机：它比你以为的重要得多

先看一组关键数据。即便是最先进的3nm芯片，大部分制程步骤依然离不开ArF光刻机。ASML的高端ArF设备卖多少钱？平均8250万美元一台。这个价格，为尼康通过价格切入市场留出了巨大的空间。

大村泰弘强调，尼康敢于打价格战的核心底气，就在于大量核心零部件能够自主生产。这在成本控制上带来的优势，是竞争对手难以复制的。行业内部估算，尼康的ArF光刻机售价，有望比ASML同类产品低20%到30%。对于正在大规模扩产的晶圆厂来说，这笔节省下来的设备投资，可不是一个小数目。

作为DUV光刻机中的高端品类，ArF光刻机的价值其实远超很多人的认知。它采用193nm波长，分为干式和沉浸式两种。即便EUV光刻机已经量产多年，全球绝大多数芯片制程步骤，依然依赖ArF设备来完成。这里有一个更直观的数字：即便是最先进的3nm芯片，也有超过70%的光刻工序需要用到ArF沉浸式光刻机。配合多重曝光技术，ArF设备甚至可以直接量产7nm级别的芯片。

这才是关键所在——ArF不是落后的老古董，而是当前先进制程中真正的“生产力主力”。

从霸主到挑战者：尼康的前世今生

说起尼康，曾经的它可不是什么“挑战者”。它曾是全球光刻机行业的绝对霸主。巅峰时期，英特尔80%的光刻机订单都交给了尼康。风光无限。

转折点出现在2008年。因为在EUV技术路线上的判断失误，尼康退出了EUV竞争。自此，市场份额被ASML一步步蚕食，局面逐渐逆转。

但在ArF领域，尼康依然保留着深厚的技术积累。尤其是它自研的光学镜头，在CD均匀性等关键指标上表现出色，产品非常适合作为ASML光刻机的补充和备份。换句话说，对于晶圆厂而言，多一个供应商可选，意味着更强的议价能力和供应链稳定性。

尼康的计划很清晰——在2028财年推出新一代ArF沉浸式平台，配备全新的镜头和晶圆台，并且能够与ASML的现有设备兼容。这意味着，晶圆厂可以无缝嵌入尼康的设备，而不用对现有产线做大规模改动。

必须看到的是，尼康这一轮反击，打的不是技术碘伏，而是“价格+兼容性”的组合拳。在全球芯片产能竞赛持续升温的背景下，任何能帮厂商省下数亿美元的“替代品”，都不可能被忽视。