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上海AI实验室攻克光刻胶稳定制备难题 芯片核心材料获突破

时间:2026-05-12 16:04
光刻胶,作为半导体芯片制造中的关键核心材料,其性能与稳定性直接决定了芯片的良率与最终品质。长期以来,高端光刻胶树脂的合成工艺与质量控制技术被少数国际企业垄断,成为制约我国芯片产业自主发展的重要瓶颈。 这一技术壁垒正在被有效突破。近期,上海人工智能实验室联合厦门大学、苏州国家实验室等科研机构,依托国家

光刻胶,作为半导体芯片制造中的关键核心材料,其性能与稳定性直接决定了芯片的良率与最终品质。长期以来,高端光刻胶树脂的合成工艺与质量控制技术被少数国际企业垄断,成为制约我国芯片产业自主发展的重要瓶颈。

这一技术壁垒正在被有效突破。近期,上海人工智能实验室联合厦门大学、苏州国家实验室等科研机构,依托国家重大科技项目,基于“书生”科学大模型与智能发现平台,成功构建了“AI决策驱动—自动化合成”一体化研发系统。该平台实现了高纯度、高一致性的KrF光刻胶树脂的精准制备,大幅提升了研发效率与成果可重复性。

这一突破标志着芯片材料研发进入了智能化、数据驱动的新阶段。传统依赖人工经验与反复试错的研发模式,正在被以人工智能为核心的系统化、可迭代研发范式所取代。

目前,该智能平台已成功完成多轮自动化合成与性能验证任务。尤为关键的是,树脂批次间的一致性获得显著提升,为后续规模化量产奠定了坚实基础。产业链协同进展迅速:厦门恒坤新材料公司依托其在光刻胶配方领域的深厚技术积累,已完成对该树脂的全面工艺适配,关键指标均符合设计预期。下一步将推进客户端样品验证与导入工作。

从实验室的原创技术突破,到产业端的快速工程化落地,这条以人工智能赋能的新研发路径,正为我国在全球芯片产业链中实现关键材料自主可控,提供一条高效、可靠的技术解决方案。

来源:https://www.163.com/dy/article/KSNKD3I40550WHYR.html
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