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格罗方德晶圆制造AI应用实践分享

格罗方德晶圆制造AI应用实践分享

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2026-05-28

在半导体制造这一追求极致效率与精密度的行业,人工智能(AI)的应用已从概念探索阶段迈入实际价值创造的新纪元。近期,格罗方德(GlobalFoundries)首席制造官Pradip Singh在接受IndustryWeek专访时,详细介绍了该公司如何将AI技术深度融入晶圆厂的日常运营,并成功开发出三套可规模化推广的智能解决方案,精准聚焦于生产效率提升、产品质量管控以及设备预测性维护这三大核心制造挑战。

格罗方德分享在晶圆制造中推进AI应用的实践

事实上,制造业应用机器学习与AI软件已有数十年的历史。如今,伴随AI技术的又一次重大突破,这些成熟的工业系统被赋予了更强大的智能,持续为生产线优化注入新动能。格罗方德的成功案例,将关于AI的讨论从通用大语言模型(LLMs)拉回到了更务实、更能直接提升芯片良率与降低运营成本的工业AI场景。

为了系统化、规模化地推动这些前沿技术在全球各工厂落地,格罗方德专门组建了数字化制造解决方案团队。该团队的核心使命清晰明确:评估各项AI技术的部署可行性、制定全球统一的优先实施策略,并最终确保解决方案能在多个生产基地快速复制与推广。目前,他们的工作重心已锁定在以下三个关键项目。

生产效率提升:实现设备“零等待”运行

在高产能的晶圆制造厂中,每日都面临海量且复杂的生产调度决策。如何让昂贵设备运行更顺畅,最大限度减少空闲等待时间?格罗方德的策略是升级其实时调度系统(RTD)。

他们在现有RTD系统基础上,集成了一套由深度学习公司minds.AI提供支持的智能优化模块。该系统的核心功能体现在两方面:一是高精度预测每个晶圆批次的预计完成时间;二是基于此预测,智能指挥RTD系统提前调度下一批待加工晶圆,从而有效压缩设备在批次切换过程中产生的“间隙时间”或“空转时间”。

Pradip Singh对此做了一个形象的比喻:“在晶圆厂,频繁更换生产工艺配方会消耗大量宝贵时间。我们的加工周期差异巨大,短至5分钟,长则可达12小时。对于长达12小时的加工任务,每天仅更换一次硅片,损失几分钟影响甚微。但对于快速抽样检测这类任务,或是那些每小时能处理上千片晶圆的高速设备,频繁换型导致的‘间隙时间’累积效应将十分惊人。试想,若能每半小时就节省出5分钟等待时间,整体生产效率将获得质的飞跃。”

这套智能调度系统的威力在试点阶段就已得到验证。仅在马耳他工厂的100台设备上试运行,就实现了1.5%的生产效率提升。鉴于其显著成效,格罗方德已于2025年初在新加坡工厂进行全面部署,该工厂存在大量的配方切换场景,正是检验系统性能的理想试验场。

尤为值得一提的是,该系统具备强大的自适应性。它无需为每个新产品单独重新训练模型,而是能够随着生产数据的持续积累,不断进行自我学习和动态优化。

质量守护者:打造比人眼更犀利的“AI侦探”

产品质量是晶圆制造的生命线。每一片硅晶圆都需要经过薄膜厚度、反射率、表面粗糙度及杂质含量等多项指标的严格检测。传统方法依赖工程师人工审查扫描电子显微镜(SEM)等设备生成的图像,费力地筛选错误报告并追溯缺陷根源。

为了彻底变革这一流程,格罗方德新加坡工厂在数年前部署了一套名为“Atlas”的AI视觉检测系统。该系统以数百万张历史硅片扫描图像作为训练数据,练就了三大核心能力:自动识别并精准分类扫描图像中的各类缺陷;智能推断缺陷可能源自哪一道具体生产工艺环节;并能关联历史数据对缺陷模式进行深度根因分析。

与人工设定固定容错阈值(例如,规定每张图像缺陷数量不超过五个即为合格)的传统方式不同,Atlas系统展现出“明察秋毫”的严谨性。即使图像中仅出现一个微小缺陷,它也会持续追踪分析,并及时向质量管控团队发出潜在风险预警。

“它的核心价值在于极大加速了质量管控的闭环流程,” Singh阐释道,“质量管理的精髓就在于两个‘快速’:快速发现问题,以及快速定位问题根源。”

目前,新加坡工厂运行的是已迭代至第三代的Atlas系统,其成效直接体现在关键指标上——成功将相关工艺的废品率降低了20%。

提升维护效率:为工程师配备“智能副驾驶”

生产设备的突发故障是制造线上最棘手的挑战之一,而不同工程师的经验水平差异,直接决定了设备从故障中恢复的速度。为了将顶尖设备工程师的宝贵经验“复制”并赋能给全体维护人员,格罗方德与半导体AI解决方案公司La vorro合作,共同开发了一套设备故障智能诊断AI助手。

该系统的“知识库”由过去五年积累的设备故障日志训练而成,其中包含了详尽的设备型号、错误代码以及对应的维修操作记录。当现场工程师遇到设备报警时,只需输入相关故障信息,AI助手便能基于庞大的历史案例数据库,快速推理出最可能的故障原因,并提供经过实践验证的排障步骤与维修建议。

“这是一个具备持续学习能力的进化系统,” Singh强调,“每一次成功的维修行动都会被记录并反馈至系统数据库。随着数据‘雪球’越滚越大,它提供的诊断建议也会变得越来越精准、可靠。”

该智能维护解决方案即将进入试点测试阶段。一旦验证成熟,它有望显著提升关键设备的综合可用时间(OEE),同时有效降低整体的维护与备件成本。

纵观格罗方德在三大领域的AI实践,可以清晰地看到,人工智能于其而言,早已不再是悬浮于空中的技术概念,而是深度嵌入制造体系、驱动持续优化与价值创造的核心引擎。通过将前沿AI技术与深厚的工业机器学习经验相融合,并在生产效率、质量监控、设备管理等关键制造环节进行创新性应用,格罗方德正在为AI在高端工业制造中的规模化、实用化落地描绘出一条清晰的现实路径。

这些实践不仅有力证明了AI在严苛的半导体制造场景中创造真实经济价值的巨大潜力,更将企业长期沉淀的海量历史数据,转化为了工程师日常工作中触手可及的“智能伙伴”。这或许正是制造业迈向数字化、智能化未来过程中,最坚实、也最自然的关键一步。

来源:https://m.elecfans.com/article/7752063.html
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