超越日本！我国第一台纳米压印光刻机交付：线宽小于10nm
8月5日，璞璘科技自主研发的首台PL-SR系列喷墨步进式纳米压印设备成功通过验收，正式交付国内特色工艺客户投入应用。该设备已在存储芯片、硅基微显示、硅光子器件和先进封装等芯片研发环节完成初步验证。
这一突破意味着我国高端半导体装备制造能力迈上新台阶。
据了解，PL-SR系列设备在技术上取得多项关键进展：突破了步进硬板非真空全贴合操作、喷胶与薄胶压印工艺、压印胶残余层精准调控等难点，可满足线宽小于10纳米的光刻精度需求。
设备还搭载了自主开发的模板表面形态调控系统、喷墨打印算法体系和光刻胶材料适配方案，配合专属软件控制系统，形成完整的工艺链支持。
当前全球纳米压印技术领域，日本企业处于领先地位，例如佳能推出的FPA-1200NZ2C机型可实现14纳米线宽，据称可支持5纳米芯片制造。相比之下，璞璘科技在技术指标上已实现超越，但需注意的是，这并不等同于具备5纳米及以下芯片的批量生产能力。
纳米压印技术虽避免了EUV光刻系统复杂的能源与光源需求，显著降低了设备成本和能耗，但其生产效率仍远低于传统光刻技术，且主要适用于结构相对简单的芯片类型。
再来深入了解PL-SR系列的关键技术创新。
该设备在喷墨涂胶工艺上取得重要突破，解决了多个技术瓶颈，尤其在喷涂型纳米压印材料方面实现显著进展。
在半导体级芯片压印过程中，常需处理变占空比、多周期变化的纳米结构。这类复杂图形要求对局部胶量进行精确调控，根据结构特征动态调整压印胶喷涂量，以获得均匀的超薄残余层。
PL-SR系列通过创新材料配方与工艺优化，提升了胶滴密度与铺展性能，成功将压印膜厚控制在纳米级别——平均残余层厚度小于10纳米，厚度波动低于2纳米，压印结构深宽比超过7:1。
同时，研发团队还开发了多款适配喷胶步进工艺的压印胶体系，特别推出了可溶剂清洗的光固化纳米压印胶，有效避免昂贵石英模板被残留胶污染的风险，为高精度步进压印提供了可靠的材料支持。
PL-SR系列还攻克了纳米压印模板形态控制的技术难关。
在极小线宽压印工艺中，使用的硬质石英模板与硅晶圆基片存在天然的翘曲差异，这就要求在整个压印过程中对模板形态进行实时调控，才能实现完美贴合。
此外，高端芯片极细结构压印所需的光刻胶用量极微，仅约数十纳米厚度，进一步增加了模板与基片紧密贴合的难度。璞璘科技自主开发的模板形态控制技术，正是针对这些挑战提供了有效解决方案。
与光刻工艺类似，纳米压印完成后需进行刻蚀工序，这对压印的均匀性与稳定性提出极高要求，特别是残余层厚度的控制尤为关键。
针对这一技术难点，璞璘科技对设备、材料及工艺系统进行整体优化，实现了无残余层压印工艺。
PL-SR系统作为通用型重复步进纳米压印平台，不仅具备高效高精度的压印能力，还支持复杂结构的精确拼接。
系统采用高精度喷墨涂胶方案，配合精密的定位功能，可满足高精度拼接所需的定位要求。
此外，该重复步进压印系统还支持模板拼接功能，最小可采用20毫米×20毫米压印模板进行均匀拼接，最终实现300毫米晶圆级超大面积的图形化加工。
相关攻略
荷兰半导体设备制造商阿斯麦股价近日创下历史新高，每股报1559 4美元，公司总市值随之突破6000亿美元大关，成为欧洲首家达成此市值规模的企业。这一成就主要得益于其在极紫外光刻等核心半导体制造设备领域的垄断性技术优势。当前，全球对人工智能、高性能计算芯片的旺盛需求，持续推动芯片制造商扩大产能和升级设
荷兰光刻机制造商ASML近日股价创下历史新高，总市值突破6000亿美元，成为欧洲首家达到这一市值的公司。根据2026年第一季度财报，ASML营收为87 67亿欧元，同比增长13 24%，净利润达27 57亿欧元，同比增长17 07%。本季度共售出67台全新光刻机，毛利率保持在53 0%。这一成就反映
光刻机市场格局，在美的搅和之下，出现了巨大变革 当下的光刻机市场，可谓冰火两重天。一边，荷兰ASML风头正劲，半年时间就卖出了327台光刻机，其中堪称“印钞机”的顶级EUV设备就占了48台，几乎垄断了全球高端芯片制造的命脉。而另一边，日本百年巨头尼康却深陷泥潭，刚刚发布了2025财年预计亏损850亿
3月24日，存储芯片大厂SK海力士（SK hynix）宣布，将在2027年12月31日前向荷兰ASML采购价值11 95万亿韩元（约79 7亿美元）的极紫外光（EUV）光刻机，旨在应对日益增长的内存
上海规模最大的半导体行业展会——SEMICON China 2026正在进行中。3月26日，展会进入第二天，场内的观众依然众多，除了中国人外，会场内不时听到日韩等外国人在交流。今年最有人气当属N3的
热门专题
热门推荐
公安部就电子数据取证规则公开征求意见，拟将网络安全等行政案件纳入适用范围，并规范取证流程与核心概念。新规特别明确了获取密码、调取通讯内容等特殊程序，需经严格审批并保障当事人权利。配套法律文书也同步优化，以构建更规范且注重权利保障的取证体系。
理想L9和LIvis的定价策略刚掀起波澜，小鹏GX的最终价格就给出了更猛烈的回应——从近40万元的预售价直降至27万元起。用小鹏产品矩阵负责人吴安飞的话说，这叫“9系的产品，8系的价格”。 这12万元的下调，效果堪称立竿见影。发布会次日，小鹏集团港股股价一度大涨超8%。更关键的是市场订单：上市12小
5月21日，环塔拉力赛新疆且末赛段大营迎来了一位备受瞩目的访客——知名零售企业胖东来的创始人于东来。他专程前往长城汽车车队营地，与参赛车手及后勤团队进行了深度交流。据悉，于东来此次自驾越野之旅已历时一月，随行车队中包含多款国产越野车型。经过实地驾驶与多维度对比，他对以长城汽车为代表的国产越野车品质给
比特币官方入口在哪里？一个核心门户的权威指南 说起比特币，很多人第一反应是去找它的“官网”或“官方App”。但这里有个关键点需要先理清：比特币本质上是一种去中心化的全球数字货币，它不属于任何一家公司或机构，而是由一个庞大的、遍布全球的社区共同维护。因此，它并没有传统意义上由某个企业运营的“官方网站”
Ring-2 5-1T是什么 在当今大模型技术激烈竞争的赛道上，追求更长的上下文处理能力和更强大的深度推理性能已成为核心焦点。近日，蚂蚁集团旗下的inclusionAI团队重磅开源了Ring-2 5-1T模型，这是一个参数规模高达万亿级别的混合线性思考大语言模型。该模型基于先进的Ling 2 5架构