有投资者在互动平台向聚光科技（300203.SZ）询问，谱育科技推出的7350系列三重四极杆电感耦合等离子体质谱仪（ICP-MS/MS）是否已经进入批量交付阶段？该产品在实际性能上与国外同类仪器相比，是存在差距，还是已经实现了技术领先？ 7月13日，公司官方回复称，谱育科技于今年3月发布的7350系列，在灵敏度、抗干扰能力及自动化联用等关键性能指标上，均实现了显著提升。针对半导体行业常见的典型样本，例如湿化学品、晶圆表面杂质金属、硅烷和电子特气等，该设备的检测能力已稳定达到sub-ppt级别。这一精度水平非常出色，不仅能够全面覆盖半导体各类场景的超痕量检测需求，而且随着灵敏度的提升，还能更好地支撑半导体量测端的数据质量控制，从而为主流制程及先进制程提供更严格的工艺规范与材料认证支持。