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SK海力士将在年底量产375层NAND并全面推进钼代钨工艺

时间:2026-06-30 13:12
SK海力士375层NAND完成验证,计划2026年底量产,清州M15产线全面升级。技术路径从400层调至375层,未来布局480层、604层。核心突破是以钼代钨作字线金属栅极,降低电阻、提升速率和存储密度,采用东京电子设备。钼用量预计大幅增长,SK海力士聚焦高端扩产以提升盈利能力。

SK海力士在3D NAND堆叠技术上再次取得重大突破——根据海外媒体报道(6月11日),其375层产品已完成生产验证,预计2026年底投入量产。与此同时,清州M15工厂的原有产线正全面升级改造,从176层、238层、321层产品统一切换至375层产线。这一调整源于技术路线策略变化:原计划为400层,但因超高堆叠工艺难度过大,最终下调至375层。不过,SK海力士已在规划后续480层、604层的技术路线,显然眼光长远,不局限于眼前。

这次量产的核心突破在于字线金属栅极的材料革新——SK海力士首次采用钼(Mo)替代传统的钨(W)。钼的优势十分明显:在微缩线路中电阻更低,有助于提升信号传输和读写速度,同时可省去辅助膜铺设,进一步提高存储密度。当然,钼工艺也面临挑战——高温供给需精准控制,技术门槛较高。为此,SK海力士选择了东京电子(TEL)的炉管式设备,相比应用材料的方案,在成本和效率上更具优势。在钼材料供应方面,空气产品、英特格、默克已加入供应链,SK特种气体也在协同空气产品优化交付流程。

行业对钼用量的增长预测相当激进:三星电子去年采购约4吨,今年预计达10吨,2027至2030年预计分别攀升至25吨、40吨、60吨、80吨。SK海力士则从2027年开始大规模导入,初期年用量约4吨。值得关注的是,SK海力士的策略并非盲目扩大总产能,而是聚焦高端产品扩产,从而提升单位比特的盈利能力——这堪称明智之举。

来源:https://www.163.com/dy/article/KV4S58RI0550WHYR.html
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