2023年6月16日,一则来自财闻海外资讯的消息在半导体行业内引发广泛关注——ENF科技成功实现了半导体级氢氟酸的国产化突破,并于本月初向SK海力士交付了首批产品。这意味着,韩国在这一关键半导体材料领域终于打破了长期以来的进口依赖格局。
该产品主要用于晶圆刻蚀与清洗工艺环节,目前已投入产线进行试运行。按照规划,本月下旬将逐步扩展至DRAM等主力产线。业内分析认为,一旦全面推广应用,未来有望满足SK海力士半数以上的氢氟酸需求。
回顾2020年,韩国半导体行业已开始加速推动氢氟酸的国产化进程。在此之前,ENF科技一直高度依赖从日本进口的氢氟酸来生产缓冲氧化蚀刻液(BOE),成本压力巨大。要知道,韩国半导体行业每年对氢氟酸的需求量约为6万吨,而BOE的需求更是高达9至10万吨——这块市场的规模极为可观。
为了攻克这一技术难题,ENF科技自2020年起累计投入超过1000亿韩元。具体而言,项目分阶段推进:首期投资348亿韩元,后续追加536亿韩元,到2024年又投入509亿韩元用于二期建设。最终,在忠清南道天安厂区,建成了从氢氟酸到BOE的一体化完整产能体系。
目前,ENF正紧锣密鼓地推进多家客户的品质验证工作,目标是在2026年下半年实现批量外部供应。由于高纯度要求、高安全风险以及严格的监管壁垒,韩国氢氟酸市场长期被日本企业牢牢占据。此次突破的意义,不亚于在半导体供应链关键环节上打开了一扇自主可控的大门。
