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美国商务部担忧ASML高端光刻机可能流入中国

时间:2026-06-20 14:49
美国商务部担忧ASML的极紫外光刻机可能通过第三国转口等方式绕过出口管制流入中国。ASML反驳称其产量极为有限且需持续专业维护才能正常运行,并强调从未向中国出售过任何EUV设备或相关部件。

此事颇具深意。路透社于6月18日披露的一则消息,将美国与荷兰之间围绕光刻机设备出口的“暗战”公之于众。美国商务部长霍华德·勒特尼克近期会晤了荷兰光刻机巨头ASML的高层,会谈内容直指核心——美方怀疑,一台由ASML制造的顶级芯片制造设备,可能已绕过美国的出口管制,流入中国。该消息最初由彭博社曝出。



报道明确指出,勒特尼克在与ASML高管的会谈中,直接表达了这一担忧。然而,ASML方面并未示弱,当场予以反驳。其理由颇为“强硬”——公司强调,用于生产超微细芯片电路的极紫外(EUV)光刻系统,本身产量极为有限,并且这些设备在整个生命周期内,均需依赖ASML工程师的持续维护才能正常运行。换言之,设备的流向高度可控,很难在无声无息中“流失”。

那么,ASML的底气源自何处?不妨审视一下这台设备的分量。据报道,ASML最先进的EUV系统,体积堪比一辆校车,重量约达180吨。在高端芯片制造产业链中,它无疑是核心中的核心,也是当前被视为“卡脖子”的关键装备。彭博社援引一位ASML发言人的话,其表态十分绝对:“ASML从未向中国出售过任何一台EUV光刻机,也从未向中国出口过任何专为EUV设备设计的部件、模块或设备。”

话说回来,针对这篇报道的具体说法,美国商务部、ASML以及白宫在路透社常规工作时间之外被联系时,均未立即作出回应。值得一提的是,路透社自身去年12月曾报道过另一则消息:中国的一个科研团队,在多名ASML前工程师的参与下,已成功研发出了一套EUV原型机。当时,这一事件被业内形容为中国在高端芯片制造领域的一次“曼哈顿计划”式的攻关。

将这两件事联系起来看,局势显然远非表面那般简单。

来源:https://www.163.com/dy/article/KVPSENBK0511BLFD.html
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