科技部投1.09亿采购上海微电子步进扫描光刻机
根据人民财经资讯12月25日消息，企查查APP显示，上海微电子装备（集团）股份有限公司近日成功中标步进扫描式光刻机项目，中标金额约1.09亿元人民币。此前公告信息显示，该项目的招标方为科学技术部。企查查平台信息进一步透露，上海微电子装备公司成立于2002年，其经营范围涵盖：半导体设备、泛半导体设备、高端智能装备的开发、设计、制造、销售及技术服务等。公司股权由上海电气控股集团有限公司、张江高科全资子公司上海张江浩成创业投资有限公司等共同持有。
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据了解，步进扫描光刻是一种混合光刻技术，它融合了扫描投影光刻和分步重复光刻的双重优势。该技术通过动态扫描方式同步移动掩膜版和晶圆，其标准曝光尺寸为26 mm × 33 mm，能够扩大曝光场并实现一次曝光多个芯片。系统在整个扫描过程中具备实时聚焦调节能力，适用于0.25微米及以下的制造工艺，尤其在0.18微米节点及更先进的工艺中得到广泛应用。
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