台积电美国Fab 21工厂内部视频首曝：4纳米芯片制造全揭秘
10 月 22 日，台积电最新 YouTube 账号于 10 月 19 日发布了一支视频，罕见地展示了其美国亚利桑那州 Fab 21 晶圆厂的内部场景，这也是这座全球最先进半导体工厂的运作细节首次向公众公开。
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视频中最引人注目的亮点之一，是被称作"白银高速公路"的高架轨道系统。这套系统专门负责高速、精准地运输装有 12 英寸晶圆的 FOUP，确保生产流程的顺畅与高效。
此外，视频还呈现了黄光照明下的洁净室环境。这种特殊的光照设计能够保护涂覆在晶圆上的光刻胶层，避免其在生产过程中受到损害。以下是相关视频截图：
在核心设备方面，视频近距离展示了来自荷兰阿斯麦的 Twinscan NXE:3600D 极紫外光刻机。作为制造先进制程芯片不可或缺的关键工具，它能够在晶圆上蚀刻出小至 13 纳米的精细电路结构，其形成的晶体管线宽比一根发丝的万分之一还要纤细。正是依靠这些尖端的设备，Fab 21 工厂才能够顺利运营台积电的 4 纳米和 5 纳米制程节点。
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