10 月 22 日,台积电最新 YouTube 账号于 10 月 19 日发布了一支视频,罕见地展示了其美国亚利桑那州 Fab 21 晶圆厂的内部场景,这也是这座全球最先进半导体工厂的运作细节首次向公众公开。
视频中最引人注目的亮点之一,是被称作"白银高速公路"的高架轨道系统。这套系统专门负责高速、精准地运输装有 12 英寸晶圆的 FOUP,确保生产流程的顺畅与高效。
此外,视频还呈现了黄光照明下的洁净室环境。这种特殊的光照设计能够保护涂覆在晶圆上的光刻胶层,避免其在生产过程中受到损害。以下是相关视频截图:








在核心设备方面,视频近距离展示了来自荷兰阿斯麦的 Twinscan NXE:3600D 极紫外光刻机。作为制造先进制程芯片不可或缺的关键工具,它能够在晶圆上蚀刻出小至 13 纳米的精细电路结构,其形成的晶体管线宽比一根发丝的万分之一还要纤细。正是依靠这些尖端的设备,Fab 21 工厂才能够顺利运营台积电的 4 纳米和 5 纳米制程节点。


