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三星电子HBM封装新技术专利公示

时间:2026-07-01 11:35
6月30日,三星电子低调提交了一份HBM封装新专利,标题为“包括沿垂直方向堆叠的多个半导体芯片的半导体封装”。该专利直指高带宽内存(HBM)的可靠性痛点。根据6月28日提交的申请文件,三星推出了一套“深槽切割”工艺:将堆叠在HBM顶部的虚拟芯片侧面,加工成三级阶梯状曲面结构。这一设计颇为巧妙——在高

6月30日,三星电子低调提交了一份HBM封装新专利,标题为“包括沿垂直方向堆叠的多个半导体芯片的半导体封装”。该专利直指高带宽内存(HBM)的可靠性痛点。根据6月28日提交的申请文件,三星推出了一套“深槽切割”工艺:将堆叠在HBM顶部的虚拟芯片侧面,加工成三级阶梯状曲面结构。这一设计颇为巧妙——在高度堆叠的HBM中,芯片分层、开裂、翘曲等常见问题通常源于应力集中和界面结合不牢。阶梯曲面结构相当于为多层芯片增加了缓冲带,使应力得以均匀释放。

再看热管理方面,专利细节十分精确:粘合绝缘层底面与水平延伸面之间的垂直距离被精确控制在1至10微米之间。这一狭窄区间并非随意设定,它既能维持现有的传热效率,又不会牺牲封装密度。更值得一提的是,改进的凸起表面结构可最大限度压缩成型层体积——本质上减少了不必要的填充材料,从而为热量传导扫清障碍。可以说,三星这次在HBM封装上的创新,不仅聚焦于性能和容量,更在可靠性、散热效果与制造精度之间实现了全面平衡。

来源:https://www.163.com/dy/article/L0M6EDFP0550WHYR.html
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