东京电子推出芯片探针台Prexa SDP,瞄准先进封装测试关键环节
半导体制造设备领域迎来重要更新。近日,全球领先的设备供应商东京电子(TEL)正式发布了其新款芯片探针台——Prexa SDP。该设备定位精准,专为切割后的单颗芯片测试而设计,旨在解决2.5D/3D等先进异构集成封装流程中的核心测试难题,提升封装前筛选效率。
在日益复杂的先进封装工艺中,确保最终产品良率是制造商面临的关键挑战。Prexa SDP的核心应用场景正是封装前的KGD(已知良品芯片)筛选工序。它扮演着至关重要的角色,与传统晶圆级测试设备形成有效互补,共同为提升先进封装的整体生产良率和可靠性提供坚实保障。
这款探针台究竟有何独特优势?其技术核心在于攻克高功耗芯片的测试瓶颈。Prexa SDP集成了TEL自主研发的高发热芯片专用温控解决方案,配备了具备卓越散热性能的热控头,并能实现高精度、高稳定性的主动温度控制。这一系列技术创新,旨在确保即使面对发热量巨大的高性能芯片,设备也能实现芯片的可靠传输与精准的KGD筛选,从而保障整个测试流程的稳定与高效。

针对此次新品发布,TEL后道事业部总经理佐藤阳平阐述了其背后的行业洞察:
对于依赖先进封装技术来提升最终产品良率的半导体制造而言,测试环节的战略重要性已空前凸显。此次推出的Prexa SDP,深度融合了TEL在晶圆探针台领域多年的技术积淀与自研的先进温控技术,能够充分满足先进封装制程对高测试品质与设备长期稳定性的严苛需求。未来,我们将持续致力于创新性测试技术的研发,以精准响应客户不断演进的实际生产挑战。
这一观点深刻揭示了当前半导体行业的普遍共识:随着封装技术向多维堆叠与异构集成方向发展,测试已从传统的制造附属环节,转变为直接影响产品最终性能、可靠性与成本效益的关键步骤。TEL此次推出Prexa SDP,正是将其在晶圆级测试领域的深厚技术优势,战略性拓展至封装前这一价值日益提升的细分测试市场,为行业提供了更完善的解决方案。
