
11月24日,日本产业技术综合研究所发布公告称,已于本月初正式建成国内首条面向先进制程的12英寸晶圆共享中试线,并成功实现对GAA全环绕栅极晶体管的试制支持。该中试线为日本半导体产业链上下游企业搭建了一个开放平台,可用于验证自主研发的设备与材料在尖端工艺中的适配性,有效加速技术研发进程,帮助相关企业提升国际市场竞争优势。
这条中试线由日本产业技术综合研究所联合东京电子、Screen及佳能共同建设,通过资源共享机制大幅降低了企业与科研机构在先进制程开发和测试中的投入成本。平台在运营中特别注重知识产权保护体系构建,为企业协同研发提供了安全可靠的技术环境。
