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三星电子开发900层超高堆叠3D NAND闪存原型成功

时间:2026-08-21 17:54
三星电子利用单元多层键合技术,将两片450层芯片连接,成功开发全球首个900层3DNAND闪存原型,存储单元特性通过验证。通过上部卡盘技术解决晶圆翘曲,新型套刻校正克服对准误差,并改进位线与字线设计,提升功耗与信号质量。

据韩国媒体最新报道,三星电子在3D NAND堆叠技术领域再次取得突破——其通过单元多层键合(CMB)技术,将两片450层3D NAND芯片进行连接,成功打造出全球首个900层超高堆叠的3D NAND闪存原型。更值得关注的是,该原型样品的存储单元电气工作特性也已经完成验证。

▲ 三星电子 V9 QLC

如果把两座450层的NAND“摩天大楼”整合为一座900层的超级存储结构,听起来已经足够震撼——但真正的技术难点,在于对键合精度与可靠性的极高要求。只要其中任意一层出现偏差,整个3D NAND堆叠结构都可能失效。

在此次原型制造过程中,三星电子拿出了多项关键工艺:通过“上部卡盘”(Upper Chuck)技术解决晶圆翘曲问题,借助新型套刻校正技术克服微细对准误差,同时进一步优化位线(BL)与字线(WL)设计,并同步改善功耗表现和信号传输质量。可以说,在超高层3D NAND闪存研发中,这些都是难度极高的核心环节,而三星已经成功实现突破。

来源:https://www.itren.com/digital/180540.html
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