据韩国媒体最新报道,三星电子在3D NAND堆叠技术领域再次取得突破——其通过单元多层键合(CMB)技术,将两片450层3D NAND芯片进行连接,成功打造出全球首个900层超高堆叠的3D NAND闪存原型。更值得关注的是,该原型样品的存储单元电气工作特性也已经完成验证。

如果把两座450层的NAND“摩天大楼”整合为一座900层的超级存储结构,听起来已经足够震撼——但真正的技术难点,在于对键合精度与可靠性的极高要求。只要其中任意一层出现偏差,整个3D NAND堆叠结构都可能失效。
在此次原型制造过程中,三星电子拿出了多项关键工艺:通过“上部卡盘”(Upper Chuck)技术解决晶圆翘曲问题,借助新型套刻校正技术克服微细对准误差,同时进一步优化位线(BL)与字线(WL)设计,并同步改善功耗表现和信号传输质量。可以说,在超高层3D NAND闪存研发中,这些都是难度极高的核心环节,而三星已经成功实现突破。
