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攻克5nm以下制程卡脖子难题:华裔科学家达博加盟中科大

时间:2026-08-18 10:02
半导体材料学家达博辞去日本国立材料研究所终身职位,全职回国加入中国科学技术大学。其主导的电子束与刻蚀技术已用于台积电3nm量产,此次将聚焦5nm以下制程核心部件自主可控。

一位长期深耕半导体材料领域的顶尖科学家,近日作出了一项备受关注的重要决定。曾主导泛林集团与日本国立材料研究所(NIMS)联合项目、相关技术成果已成功应用于台积电日本3nm量产线的达博,正式辞去NIMS终身职位,带领团队全职回国,加盟中国科学技术大学并担任讲席教授。

在半导体材料研究方面,达博的技术积累和科研实力都十分突出。他在NIMS任职期间,仅用一年便获得终身教职,刷新了该机构最年轻终身学者的纪录。更值得关注的是,他在电子束有效利用率问题上的突破性成果,被日本学界评价为“具有与准晶发现相当的原创性意义”。这样的评价分量十足,他也因此作为唯一外籍学者受邀接受日立财团专访。

再看他此前负责的联合项目,核心聚焦于电子束与刻蚀设备中的关键材料及核心零部件。虽然相关技术已经在台积电日本3nm生产线上完成应用验证并投入量产,但现实依然十分清晰:中国大陆半导体制造在5nm以下先进制程所需的核心部件、刻蚀材料等关键环节,仍对进口存在较高依赖。此次达博团队回国,瞄准的正是半导体产业链中这一最突出的短板,目标非常明确——推动关键材料与核心零部件实现自主可控。

尽管海外也有不少高水平机构向他发出邀请,但达博最终都选择婉拒。按照他本人的说法,就是要全力推动中国半导体材料、核心零部件和先进制造配套能力尽快迈向世界先进水平。目前,团队成员已分批提前回国,在合肥参与国镜仪器科技公司的产业化平台建设,加快推动科研成果从实验室研发走向产业化产线落地。

值得一提的是,达博是甘肃人,曾以高考状元身份考入中国科学技术大学,并在中科大完成本硕博九年学习。2013年赴日本开展博士后研究,时隔十三年后,他选择重返母校。兜兜转转,从中科大出发,又回到中科大,这条路径也成为科研人才回国发展、以科技报国推动中国半导体产业进步的生动写照。

来源:https://www.techweb.com.cn/it/2026-05-29/2976119.shtml
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