各位可能已经注意到,7月28日传来一则引人关注的消息:俄罗斯在成功研制出两台150nm光刻机原型机后,官方直接放出信号——到今年年底,他们将全面掌握130nm全流程光刻技术。
泽列诺格勒纳米技术中心(ZNTC)已正式启动两套150nm电子束光刻系统原型的全面测试工作。整个测试周期预计持续约四个月。这套自主研发系统的工作方式颇具特色:它能在硅片上直接完成微电路图案化加工,无需额外配套掩模,即可直接制作生产所需的光掩模。换言之,这一工艺路线天然适配芯片原型开发、前沿技术研发,并可覆盖各类专用微电路的小批量生产需求。
让我们把目光转向另一边。全球头部芯片制造商,如英特尔和台积电,已开始采用1.8nm至2nm的先进工艺,大规模量产消费级处理器,生产环节全部依赖EUV极紫外光刻机。差距究竟有多大?简单算一笔账:俄罗斯这款150nm光刻机,在元件线性尺寸参数上,比全球最先进水平落后约75倍;元件面积,即晶体管密度指标,更是落后了5625倍。其技术水准大致相当于全球工业体系2000年代初的水平,恰好是奔腾4处理器大规模量产的那个时代。
俄罗斯第一副总理丹尼斯·曼图罗夫公开表态,称这一系列自研光刻设备的落地,标志着俄罗斯在时隔45年后,正式重返世界微电子强国行列。他还给出了明确预期:到2026年底,俄罗斯本土产业将完全掌握成熟的130nm光刻全链条技术。
不少行业分析人士指出,单从商业消费级先进芯片的维度来看,130nm工艺确实显得“相对落后”,与全球顶尖水平存在巨大差距。但事情远非如此简单。这套完全自主的光刻技术,完全可以支撑汽车电子、工业控制、雷达、航天以及各类军用基础芯片的本土自主生产。从国家安全与供应链自主可控的角度审视,这一阶段性里程碑分量极重。

