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致真精密仪器以AI重构高端科学仪器,助力半导体工艺平台化

类型:热点整理2026-05-30
致真精密仪器发布全智能原子力显微镜iAFM,搭载科研智能体Truth-Seeker2 0系统,实现自动换针、智能进针、参数调节与实验分析等全流程自动化,降低高端仪器操作门槛。同时参与共建北京市重点实验室,推动AI与科学仪器深度融合,面向半导体工艺优化与智能科研平台化落地。

从GAITC 2026大会归来后,许多业内人士都在关注致真精密仪器推出的那款iAFM产品。这款全智能原子力显微镜,其实早在今年4月的ACCSI 2026上就已正式亮相,当时便获得了新华社视频封面的重点报道。而在最近的GAITC 2026展会上,它凭借Truth-Seeker 2.0系统再次成为焦点,在“AI+科学仪器”这一前沿方向,的确强势刷了一波存在感。

图 1 致真精密仪器亮相2026全球人工智能技术大会并获多方高度关注

图 2 致真精密仪器在第十九届中国科学仪器发展年会正式发布iAFM智能原子力显微镜

对于致真精密仪器而言,iAFM绝不仅仅是一次常规的产品发布。它更像一个重要的里程碑节点——标志着公司在“AI+仪器+实验室”这一技术路径上,已经系统性地实现了全流程贯通。其战略目标十分明确:借助人工智能技术,大幅降低高端科学仪器的使用门槛。通过将复杂的仪器操作、实验流程设计、数据分析乃至报告生成等环节,逐步沉淀为可重复调用的智能能力。这样一来,高端仪器将不再只是“依赖专家经验才能驾驭的硬件设备”,而是真正进化为“能理解科研任务、辅助实验操作、沉淀专业知识、持续迭代升级的科研基础设施”。

传统原子力显微镜的行业痛点,业内人士都心知肚明:操作流程复杂、参数设置繁琐、数据分析困难、经验传承成本高昂。iAFM的解决思路是硬件、软件与智能体系统三者协同发力。从自动换针、智能进针与定位、激光自动对准、自动参数调节、自动扫描,到实验结果的智能分析、实验报告的自动生成,再加上完善的硬件安全防护机制——这套完整的能力组合,对于半导体材料检测、晶圆表面分析、薄膜沉积工艺、刻蚀与清洗效果评估、先进封装微结构观察、微纳器件研发以及集成电路工艺优化等应用场景来说,智能化原子力显微镜的价值不言而喻。不仅测试效率能够显著提升,操作门槛也得以大幅降低,使得高端检测能力有望在更多实验室、工艺开发平台及产业现场实现快速普及。

iAFM的智能核心,在于其自主研发的科研智能体应用Truth-Seeker 2.0。该系统围绕“文献分析、实验设计、仪器操作、仿真模拟、结果分析、报告撰写”这一完整的科研工作流,构建了面向科学实验场景的全面智能辅助能力。关键区别就在这里——它不同于通用大模型,其价值不仅在于回答用户提问,更在于尝试将仪器操作技能、实验方法、数据分析流程以及行业专业知识,沉淀为可复用的功能模块,从而灵活服务于不同的仪器设备、多样的用户需求以及各类科研场景。

实际上,更早之前还有一项重大动作。由北京航空航天大学牵头,致真精密仪器与松延动力共同参与建设的“人工智能全自动化实验室关键共性技术”北京市重点实验室,已在北京航空航天大学正式揭牌启动。该实验室聚焦人工智能与科学仪器的深度融合,研究方向涵盖自动化实验机器人、智能仪器设备以及实验室智慧管理软件等关键共性技术。致真精密仪器在其中主要承担AI+仪器方向的多项关键技术研发与产业化应用,具体涉及科研专业大模型、仪器操作与实验数据分析智能体、实验室智慧管理系统等前沿领域。

图 3 “人工智能全自动化实验室关键共性技术”北京市重点实验室成功揭牌

将这几件大事串联起来看——北京市重点实验室启动、Truth-Seeker 2.0系统发布、iAFM在ACCSI 2026和GAITC 2026两大展会集中亮相——致真精密仪器正在清晰铺开一条技术路线:以高端科学仪器为硬件基础,以行业知识、实验数据和工艺数据为核心支撑,以智能体系统作为交互与执行中枢,逐步构建起面向科研探索、半导体工艺优化及产业检测场景的智能仪器生态系统。

谈到公司本身,致真精密仪器成立于2019年,定位为平台型高端科学仪器与集成电路测试设备供应商。其产品线广泛覆盖精密磁测量、扫描探针显微镜、低温实验设备、X射线检测仪器、微纳部件以及人工智能等多个方向。公开信息显示,该公司已具备面向磁性芯片的全套量检测设备制造能力与全流程解决方案能力;新型超大容量硬盘介质检测设备也已获得海外头部客户的批量订单,这标志着国产高端精密仪器在国际产业客户场景中初步打开了局面。在原子力显微镜领域,作为国家级产业专项牵头单位,公司正围绕核心部件、整机系统、功能模式、智能化操作及产业化应用等方向,全面推进系统攻关。目前,致真精密仪器已获得国家高新技术企业、国家专精特新“小巨人”企业等权威资质,产业资本与投资机构也在持续加大投入。

高端精密仪器这一行业,品类繁多、技术交叉性强、工程链条长、应用场景复杂,单纯依靠一款产品很难建立起长期竞争优势。致真精密仪器的战略思路非常清晰:坚持走平台型发展路径,以精密仪器核心能力为基础,以AI智能化作为赋能放大器,以产学研协同创新与产业化落地为重要抓手,在高端科学仪器、半导体检测设备以及智能实验室系统三大方向上,持续推动自主创新与高质量发展。

来源:https://finance.sina.com.cn/tech/roll/2026-05-29/doc-inhzqimi9421798.shtml

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