超级凑巧电容可“听”微振动？用这项技术突破

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2026-01-21

来源：科技日报

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《先进材料技术》杂志最新一期报道称，奥地利维也纳工业大学的研究人员成功研制出一种超精密平行板电容结构，其间隙仅32纳米，刷新了同类结构的微型化纪录，测量精度更是逼近量子物理极限。研究团队认为，这标志着测量技术的一次飞跃，表明相关纳米结构已具备开发新一代高精度量子传感器的关键条件，有望推动量子测量技术和高端精密仪器的发展。

这32纳米的间隙，指的是一个可移动铝膜片与固定电极之间的微小距离，两者共同构成了一个极其紧凑的平行板电容器。这种结构专为高精度传感器设计，正是原子力显微镜等设备迫切需要的核心部件。

传统原子力显微镜通常依赖光学系统读取微小的机械振动，但光学系统往往结构复杂、体积较大，且对环境稳定性要求较高，限制了系统的小型化和集成化。为突破这一瓶颈，研究团队采用了电学和机械振荡方案替代光学读取方式。

在此次研究中，纳米膜片与电极形成的电容与电感元件共同构成了电学谐振电路。膜片的微小振动会引起电路共振频率的变化，从而实现对极其微弱机械振动的高精度测量。

研究人员解释说，好比敲击一面鼓，鼓膜便会振动，其发出的声音可以反映鼓膜的紧绷程度。纳米膜片的工作原理与此类似，其振动状态会受到外界微小作用力的影响，并通过谐振电路被灵敏地读取出来。该系统对振动变化极为敏感，其测量噪声已降低至仅受量子物理基本定律限制的水平。

除了电学谐振方案外，团队还展示了另一种完全基于机械结构的测量平台。在这一方案中，不同的微型机械谐振器被集成在同一芯片上，它们的振动可以相互耦合并传递信息。从量子理论的角度看，机械振动与电磁振荡在数学描述上具有等价性，这为量子传感提供了新的实现路径。

研究表明，这种纯机械系统可在室温条件下工作，并在千兆赫兹频率范围内实现有效耦合，避免了诸多量子传感实验对极低温环境的依赖。（科技日报记者张佳欣）

主编圈点

科学家们制作了一面纳米级的“鼓”，造出了一个间隙仅有32纳米的微型电容器。这套装置以接近理论极限的精度，可以“听”到最微弱的振动，为制造新一代超灵敏传感器铺平了道路，也为开发新一流量子传感器奠定了坚实基础。它们能够探测到极其微弱的磁场、重力或频率信号，应用潜力巨大。研究团队还展示了另一种纯机械谐振器方案，可以在室温下工作，大大降低了未来应用的门槛，我们或许可以制造出体积更小、成本更低的超高精度测量仪器。

来源:https://www.163.com/dy/article/KJPMRT1A0514R9OJ.html

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