近日,湖北三峽實驗室一項重大科技成果——"光刻膠用光引發劑製備專有技術及實驗設備所有權",以4626.78萬元的價格被湖北興福電子成功收購,即將投入生產。這項突破將有效緩解我國芯片製造領域又一"卡脖子"難題,推動光刻膠產業實現自主可控。
在芯片製造過程中,光刻膠如同相機的"底片",而此次轉讓成果G/I線光刻膠用光引發劑的關鍵技術,則直接決定了光刻膠的感光度和分辨能力。
據湖北三峽實驗室光刻膠用光引發劑項目負責人、週鋼翔博士介紹,該技術主要面向國內成熟製程、芯片製造以及面板製造行業。如同當前國內新能源汽車的飛速發展帶動了大量芯片需求,這些芯片都需要用到G/I線光刻膠。目前這款產品在國內的配方國產化率也處於最高水平。
近年來,由於進口光引發劑時常面臨限購和斷供,國內多家光刻膠生產企業的正常經營受到阻礙。在湖北,主營芯片蝕刻電子級磷酸、電子級硫酸等產品的興福電子,此前就一直希望切入這一產業賽道,卻苦於從零研發的高風險而不敢貿然行動。於是,公司向以微電子新材料為主要研究方向的三峽實驗室提出了具體的研發需求。
企業查查數據顯示,截至1月12日,國內光刻膠相關現存企業達1040家;截至目前,國內光刻膠相關專利已累計達1.73萬項。

