国产专利突破:四年前已为2nm工艺无EUV光刻机布局
12月6日消息显示，在先进工艺发展路径中，5纳米及以下技术节点已普遍转向EUV（极紫外光刻）工艺。深紫外光刻技术微缩至7纳米已面临显著挑战，但这显然不是国内技术发展的终点。未来，国内工艺甚至有望一路推进至2纳米级别。
免费影视、动漫、音乐、游戏、小说资源长期稳定更新！ 👉 点此立即查看 👈
国内半导体工艺在未来数年内需在无EUV设备的条件下寻求突破。不过，即便不考虑外部制裁带来的影响，探索深紫外光刻工艺的极限同样势在必行。事实上，国内相关机构早已在这些领域展开深入研究。
集邦科技日前的报道也再次提及，指出华为早在2024年就已发表相关研究论文。其提交的专利申请介绍了SAQP（自对准四重图形化）技术，表明即便在没有EUV光刻机的情况下，也能实现2纳米级工艺。
该专利方案利用深紫外光刻机结合SAQP技术，可使芯片栅极间距做到低于21纳米，而这正是衡量2纳米工艺水平的关键门槛。
这里需要强调的是，许多报道将SAQP翻译为“四重光刻”，这其实是一种误解。四重图形化不等于四重光刻，两者在技术含义上有天壤之别。四重光刻无论在技术上还是成本上，都难以被业界接受，几乎不具备量产可行性。
此外，2纳米工艺也并非华为等机构的终极目标。华为还申请了多项围绕GAA环绕栅极晶体管以及CFET互补式氧化半导体管的相关专利。后者更是业界公认的、实现1纳米以下直至0.1纳米节点的关键技术之一。
相关攻略
3月30日消息，酷睿Ultra 7 270K Plus、酷睿Ultra 5 250K Plus发布上市了，国内分别要2499元、1699元，还是挺良心的，性价比相当突出。与此同时，Intel悄然上架
3月29日消息，Intel日前预告，即将发布酷睿300系列新品，或许就是之前传闻许久的“Wildcat Lake”(野猫湖)。Wildcat Lake采用和Panther Lake同款的CPU、GP
3月29日消息，AMD处理器最为人赞赏的一点，就是轻易不更换封装接口，这与Intel截然相反。时至今日，AMD AM4平台已经走过了十年峥嵘岁月，AMD公开表态AM5平台也会一样的长寿！AMD计算与
3月27日消息，Intel酷睿Ultra 200S Plus系列处理器已正式开售，酷睿Ultra 7 270K Plus到手价2499元，酷睿Ultra 5 250K Plus到手价1699元，酷睿
3月26日消息，开源的RISC-V处理器由于不受美国限制，近年来成为国产CPU突破的一个重点方向，除了阿里达摩院的玄铁系列之外，中科院计算所主导的香山RSIC-V也成为开源的重要力量。在今天的中关村
热门专题
热门推荐
三月的丽江，春风载着光影的诗意，vivo于此启幕春季新品发布会，年度影像旗舰vivo X300 Ultra将如约登场。我们有幸提前执掌这款被赋予“专业V单”称号的新机，今日便与你一同，沉浸式解锁这台
悟空浏览器支持五种调出搜索悬浮窗的方式：一、地址栏长按；二、左边缘手势滑动；三、启用chrome: flags中的“Enable search bubble UI”；四、侧边栏添
快科技3月30日消息，日前，宝马产品负责人贝恩德·克尔伯在接受BMW Blog采访时明确表示，公司对增程车型持观望态度，虽技术上完全可行，但现实需求尚未明确，暂未做出量产决策。这一表态与宝马研发负责
大象新闻·大象财富记者 李莉 张迪驰3月29日，以“发挥主流媒体引领力 激发多元主体创造力——共创繁荣网络内容生态”为主题的2026中国网络媒体论坛在河南郑州开幕。腾讯携AI全景亮相，展示“从效率伙
3月29日，广汽丰田首款大型纯电轿车铂智7正式上市。新车推出600km和700km两种续航版本共5款配置，限时补贴权益后售价区间为14 78万元至19 98万元。作为广汽丰田继铂智3X之后的第二款纯