提起晶体管这个词可能大家都不会陌生,它本质上是一种微型电子开关,可以说是计算机芯片能够正常运行的基石。
典型的晶体管主要由以下三个部分组成:
- 栅极(gate):相当于开关的控制把手,通过施加电压来实现对电流的精准调节。
- 沟道(channel):指的是电流流通的主要路径。
- 源极(source)和漏极(drain):分别对应电流的入口与出口。
而晶体管架构,指的是设计晶体管时各部件之间的排布方式,主要涉及栅极、沟道、源极和漏极这几个关键元素的几何布局。
这里还需要提到另一个专业术语——MOSFET,全称是金属氧化物半导体场效应晶体管,它是当前数字电路中最主流的晶体管结构。
在MOSFET晶体管结构中,栅极和沟道之间通过氧化层(oxide layer)实现了完全隔离。
一方面,氧化层能够有效阻挡电流直接从栅极流向沟道,从而增强了对电流的控制能力,有效避免漏电现象。
另一方面,当施加电压时,由于电容效应的存在,栅极上的电荷会在氧化层下方形成一个电场,“间接”驱动晶体管内部的电流流动。

在早期的制造工艺中,制作氧化层使用的主要材料是二氧化硅。
2007年,英特尔在45纳米工艺的商业化产品中率先采用了高K材料,也就是HKMG——高K金属栅极技术,这项创新显著提升了栅极电容,同时改善了漏电问题,实现了晶体管性能的整体跃升。
这里的“K”指的是介电常数,它是衡量绝缘材料在电场中储存电能能力的比例系数。
除了MOSFET之外,业界还发展了多种不同的晶体管架构,例如BJT(双极性结型晶体管)、HEMT(高电子迁移率晶体管)、MESFET(金属半导体场效应晶体管)等。
MOSFET是数字电路的主流选择,而其他架构的产品则主要应用于射频电路、功率电子、高速模拟等特定领域。
传统的MOSFET结构都是平面型的,所有组件都排列在同一个水平面上,栅极只能覆盖沟道的顶部区域。
这就引发了短沟道效应(SCE),指的是当晶体管沟道长度非常短时,除了栅极电场之外,源/漏极电场对沟道的影响也会增强,进而导致阈值电压下降、反偏效应加剧等现象,最终可能造成漏电和性能不稳定等后果。
随着晶体管尺寸越来越小,平面MOSFET中的短沟道效应已经变得难以克服。

2010年代初期,英特尔在22纳米工艺上率先实现了FinFET晶体管架构的商业化应用。
在FinFET晶体管中,沟道呈垂直立体排列,栅极则从三面包裹着沟道,因其外形酷似鱼鳍,故而得名“鳍式场效应晶体管”。
FinFET通过强化栅极对沟道的“包围”效果,在芯片制程从20+纳米微缩到3纳米的过程中,有效应对了性能和功耗等方面的诸多挑战。
如今,随着制程工艺迈入2纳米级别,FinFET在控制短沟道效应和提升性能方面也逐渐显得力不从心。

为此,产业界纷纷转向了控制能力更强的全环绕栅极(GAA)架构,例如英特尔18A工艺首次使用的RibbonFET技术。
RibbonFET将沟道垂直堆叠起来,栅极从四个方向将沟道完全包围,从而使其对电流的控制力更强、更稳定、更均匀,不易受到源极和漏极电压波动的干扰。
另一方面,当沟道宽度增大时,晶体管的导电能力会相应增强,从而能够驱动更大的电流。
在FinFET结构中,如果要增加沟道宽度,就必须让晶体管变得更高。而对RibbonFET来说,由于沟道是水平排列的,在一定范围内加宽沟道并不需要增加晶体管的体积。
换言之,采用RibbonFET架构的晶体管能够以更小的体积实现相同的性能表现。
在芯片层面,这意味着芯片标准单元的高度更低、面积更小,能够在同样的空间内集成更多的晶体管,从而实现设备整体性能的显著提升。
英特尔18A工艺还搭载了PowerVia背部供电技术,目前已经投入量产,首款产品Panther Lake即将发布!

