俄罗斯极紫外光刻机计划曝光，新技术剑指ASML垄断
俄罗斯科学院微结构物理研究所最新披露了本土极紫外光刻装备的十年发展蓝图，这项由德米特里·库兹涅佐夫院士领衔的前沿研究，计划通过独特技术路线实现芯片制造的自主可控。科研团队选择了与行业主流截然不同的11.2纳米工作波长，项目规划横跨2026至2037年，计划从40纳米工艺开始突破，逐步攻克至10纳米以下制程。 研究团队开创性地采用氙气等离子体与固态激光器的组合方案，完全摒弃了传统锡滴等离子体技术。这种设计不仅有效解决了光掩模污染问题，更将设备维护周期延长了40%。在核心光学系统方面，创新的钌铍合金反射镜针对11.2纳米波长专门优化，光学效率较传统方案提升15%。整套系统通过精简复杂结构，成功减重30%，能耗表现提升四分之一。
项目将分三期递进实施：第一阶段（2026-2028）主打40纳米工艺设备，采用双反射镜物镜设计，定位精度控制在10纳米以内；第二阶段（2029-2032）推出28-14纳米工艺设备，光学系统升级至四反射镜结构；最终阶段（2033-2036）冲刺10纳米以下工艺，引入六反射镜精密系统。整个发展过程中，晶圆处理效率将从每小时5片跃升至100片。
在成本竞争力方面，这套创新方案展现出显著优势。与传统光刻设备相比，预计可降低35%-40%的单片晶圆加工成本，特别是在28纳米成熟工艺节点上，成本降幅可达50%的同时保持九成以上良率。研发团队特别指出，这种经济性优势将为中小型晶圆厂提供全新选择。
不过技术攻关仍面临多重挑战。11.2纳米非标准波长要求全套定制化光学组件，包括特殊的反射镜抛光工艺、专用光刻胶配方等。目前全球仅有极少数供应商能够提供符合要求的钌铍合金反射镜，产能十分有限。在光源稳定性方面，需要实现每秒10万次激光脉冲的稳定输出，这对激光器寿命提出了前所未有的要求。
在市场战略方面，这项技术主要面向受国际供应链限制的国家和地区，以及寻求替代方案的半导体企业。设备定位强调性价比和紧凑性，单机价格预计仅为同类产品的40%，占地面积缩减近半。若项目进展顺利，到本世纪三十年代初可形成年处理50万片晶圆的产业规模。
业内专家对项目前景持审慎乐观态度。要实现从40纳米到10纳米以下的跨越，需要攻克包括非标准波长材料适配、多反射镜系统校准等在内的200余项关键技术。研发团队采取模块化开发策略，计划在2027年完成首台原型机，次年开展产线测试。不过专家也指出，最终商业化进程还将受制于国际行业标准的认证进度。
热门专题
热门推荐
公安部就电子数据取证规则公开征求意见，拟将网络安全等行政案件纳入适用范围，并规范取证流程与核心概念。新规特别明确了获取密码、调取通讯内容等特殊程序，需经严格审批并保障当事人权利。配套法律文书也同步优化，以构建更规范且注重权利保障的取证体系。
理想L9和LIvis的定价策略刚掀起波澜，小鹏GX的最终价格就给出了更猛烈的回应——从近40万元的预售价直降至27万元起。用小鹏产品矩阵负责人吴安飞的话说，这叫“9系的产品，8系的价格”。 这12万元的下调，效果堪称立竿见影。发布会次日，小鹏集团港股股价一度大涨超8%。更关键的是市场订单：上市12小
5月21日，环塔拉力赛新疆且末赛段大营迎来了一位备受瞩目的访客——知名零售企业胖东来的创始人于东来。他专程前往长城汽车车队营地，与参赛车手及后勤团队进行了深度交流。据悉，于东来此次自驾越野之旅已历时一月，随行车队中包含多款国产越野车型。经过实地驾驶与多维度对比，他对以长城汽车为代表的国产越野车品质给
比特币官方入口在哪里？一个核心门户的权威指南 说起比特币，很多人第一反应是去找它的“官网”或“官方App”。但这里有个关键点需要先理清：比特币本质上是一种去中心化的全球数字货币，它不属于任何一家公司或机构，而是由一个庞大的、遍布全球的社区共同维护。因此，它并没有传统意义上由某个企业运营的“官方网站”
Ring-2 5-1T是什么 在当今大模型技术激烈竞争的赛道上，追求更长的上下文处理能力和更强大的深度推理性能已成为核心焦点。近日，蚂蚁集团旗下的inclusionAI团队重磅开源了Ring-2 5-1T模型，这是一个参数规模高达万亿级别的混合线性思考大语言模型。该模型基于先进的Ling 2 5架构